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três zona de temperatura 150 mm od pecvd furnace

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200-1200
  • Delivery Time:

    12 days
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DESCRIPTION

três zona de temperatura 150 mm od pecvd furnace


tmax-1200-1200-1200 sistema é composto de forno de tubo de vácuo tl1200, câmara de vácuo de quartzo, fonte de alimentação rf, sistema de fornecimento de gás gx, sistema de bombeamento e sistema de medição de vácuo.

principais características:

1. o gás na câmara de vácuo de quartzo é alterado para o estado iônico pela fonte de alimentação rf.

2. pecvd é menor que o normal cvd para deposição de vapor químico.

3. o estresse dos filmes depositados pode ser controlado pela freqüência de fornecimento de energia rf.

4. pecvd tem alta taxa de deposição, boa uniformidade, consistência e estabilidade do que o normal cvd.

5. amplamente utilizado no crescimento de vários filmes, tais como siox, sinx, sioxny e silício amorfo (a-si: h), etc.

a tl1200 - pecvd técnica do sistema para o elemento de resistência de fio de resistência kanthal sueco, usando estrutura de escudo duplo e 30 tabela de controle de temperatura do programa, gatilho de mudança de fase, controle tiristor, forno usando material de fibra de alumina policristalina, pode flange de aço inoxidável em ambas as extremidades o tubo do forno, instalação de flange de aço inoxidável tem uma boca, válvula e manômetro, vácuo, grau de vácuo pode atingir 10-3 pa, baixa temperatura de campo de equilíbrio, temperatura de superfície, taxa de elevação de temperatura, economia de energia, concessões de preços, etc.

1. fio de resistência kanthal a1 da suécia

Kanthal a1 fio original fio de resistência chinesa forno vs forno de arame de resistência importado

(1), a temperatura de superfície alta pode alcançar 1420

(2) a superfície é de aço inoxidável (muito brilhante, o cliente deve prestar atenção a ele), ele não vai enferrujar, e o tempo de uso não vai cair a escória.

(3) dados do fio de resistência kanthal é baixado

(4) site de fio de resistência kanthal: www.kanthal.com

(5) a resistência é equilibrada e o campo de temperatura é igualmente bom

a maioria dos fabricantes usa liga de fibra de vidro dopada por fio de resistência mo, que

às vezes a resistência é desigual e parte do calor é pequeno kanthal a1 resistência é uniforme e calor equilibrado, efeito de campo de temperatura boa

2. instalação de interruptor de ar e protetor de vazamento:

Quando uma corrente elétrica ou vazamento, uma reunião vazia desconecta automaticamente.

3 pode se conectar com o computador

este forno está equipado com interface de comunicação e software, pode ser diretamente através do controle de computador do forno de cada parâmetro, e pode ser observado a partir do computador pv no fogão e valor de temperatura sv e operação do instrumento, a temperatura real do computador de desenho curva curva em tempo real, e pode manter os dados de temperatura de cada vez, pode ligar a qualquer momento

4 câmara


(1 ) alta qualidade de alta pureza alumina policristalina forno curado com sucção a vácuo e moldagem por filtro.

(2). adotar tecnologia japonesa para formar.

(3). o espaçamento e o passo do fio de resistência no forno são organizados de acordo com a melhor tecnologia térmica do Japão, e o campo de temperatura é simulado por software térmico

(4). usando 4 semanas de aquecimento, a temperatura é mais equilibrada

5. placa elétrica certificada ul opcional (tudo através da certificação ul de aparelhos elétricos importados)

6. gatilho

gatilho limitador de corrente de partida suave a maioria dos fabricantes usam gatilhos xiamen não-limitadores

1 gatilho de mudança de fase (com partida suave e função limitadora de corrente)

2. função de limitação de corrente, não importa como ajustar o tempo de aquecimento que forno elétrico após a corrente secundária do transformador está limitada a 170a ou menos limitada proteção do equipamento. acionamento não limitativo se a taxa de aquecimento estiver configurada incorretamente ou muito rápida. Corrente de baixa corrente é muito grande o dispositivo irá desarmar ou queimar.

3 função de partida suave a corrente irá aumentar lentamente a corrente o impacto do elemento de aquecimento é pequeno é propício para a extensão da vida útil do elemento de aquecimento

4 a função de proteção se a corrente excede a corrente limite o gatilho irá automaticamente cortar a função de gatilho para cortar o forno de proteção atual.

7. ul transformador certificado

1 o cabo do transformador é cobre puro

2 o som do transformador pequeno

3 a temperatura do transformador é baixa

8. uma variedade de opções para escolher uma variedade de flanges (diâmetro de 25 a 250mm)

modelo

tmax-1200-1200-1200 - Eu

tmax-1200-1200-1200 -ii

tmax-1200-1200-1200 -iii

tmax-1200-1200-1200 -iv

tamanho do tubo

120 (od) x1800mm de diâmetro

60 (od) x1800mm dia

80 (od) x1800mm de diâmetro

100 (od) x1800mm de diâmetro

dimensões gerais (lxdxh)

1800 x 480 x 480

1800 x410x610

1800 x410x610

1800 x460x660

a tensão de alimentação

220 v

material do trilho deslizante

304 de aço inoxidável

modo deslizante

rolamento de aço inoxidável

número de fase

Fase única

elemento de aquecimento

importação sueco canthal a1 resistência fio clique em download de dados

o modo de controle

usando o termômetro de controle de programa elétrico yu (padrão)
1. 30 ajuste de pid inteligente de temperatura de controle de programa.
2. o circuito de aquecimento do forno elétrico pode ser cortado automaticamente quando estiver protegido por aquecimento ou quebra acidental. (quando a temperatura do forno excede 1200 graus ou o termopar é interrompido, o relé ca no circuito principal será desconectado automaticamente, o circuito principal está quebrado, a luz no painel está apagada, a luz, o forno elétrico de proteção limitado.
3. com interface de comunicação 485 (padrão e padrão para escolha de software)
4. tem a função de proteção de falha de energia, isto é, quando a energia está desligada, o programa não iniciará a partir da temperatura inicial, mas o forno começará a subir quando a energia estiver desligada.

o instrumento tem a função de auto-ajuste de temperatura

(para substituir o instrumento importado, precisamos pagar outra taxa).

mesa de controle de temperatura fp93 (shimaden)

instrumentos europeus instrumento touchscreen

o modo de controle de temperatura

pid

quebrado mesmo proteção e exibição

sim

sobre a proteção de temperatura

sim

sobre a proteção atual

sim

precisão de controle

+ / - 1

o gatilho

gatilho de mudança de fase

aparelhos eletricos

zhejiang chint

retificador controlado por silicone

106 / 16e portão oeste, alemanha

a temperatura mais alta

zona de temperatura1: 1200 zona de temperatura 2: 1200

a temperatura nominal

zona de temperatura1: 1100 zona de temperatura 2: 1100

taxa de aquecimento

os 20 / min ou menos (pode modificar de acordo com o requisito)

taxa de aquecimento recomendada

10 / min ou menos

modelo de termopar

zonas 1: faixa de temperatura de k tipo 2: tipo k

comprimento de aquecimento

zonas 1: faixa de temperatura de 200 mm. 2: 200 mm

certificação elétrica

ce

temperatura da superfície circundante

45 ou menos

fonte de alimentação rf

(gerador de plasma)

faixa de potência

0 a 500 w

potência máxima refletida

200 w.

freqüência de trabalho

rf: 13,56 mhz mais ou menos 0,005%

estabilidade de energia

+ / - 0,1%

componente harmônico

- 50 ou menos dbc

largura do rf

0-600 - mm é ajustável

modo de correspondência

automático

modo de refrigeração

ar frio

barulho

o & lt; 50 db

a interface de radiofrequência

50 Ω tipo n

potência de entrada

208-240 - v 50/60 hz

principais parâmetros do sistema de fornecimento de gás gx

Medidor de fluxo de massa
o alcance padrão
usando o controlador de fluxo de prótons 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm
(você pode escolher o intervalo do intervalo e o tipo do gás)
Pressão máxima de trabalho 3 mp
a precisão de mais ou menos 1,5%
a queda de pressão & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
repita a precisão mais ou menos 0.2% f.s

canais:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional)

tipo de articulação

conector de aço inoxidável de dupla cassete

faixa de pressão de trabalho do sistema

0,1 ~ 0,5 mpa

Temperatura de trabalho

5-45

relógio de vácuo de pressão

0,1 ~ 0,15 mpa a 0,01 mpa / case

câmara de mistura estática

dia50 x 400 mm

interface

dia6 1/4 "

a fonte de energia

220 v

Tamanho

600 x600x600

tubo corrugado

kf25x1000mm

o grau de vácuo pode ser alcançado com este sistema

10-1 o pa

válvula de defletor de vácuo

kf25

vrd a 8 bomba de vácuo

modelo

vrd para 8

limitando a pressão parcial

5 x 10 a 2 pa

interface de escape de entrada

kf25

velocidade do motor

1440 rpm

taxa de extração

2,2 l / s

potência do motor

0,4 kw

Bomba de raízes de vários estágios sem óleo de perfeer acp1 (plano 2)

modelo

acp15

fonte de energia

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

poder

450 w

interface de escape

kf25

peso

25 kg

a taxa máxima de vazamento de hélio é

5 · 10-8 pa m3 / s

grau extremo de vácuo

0,02 torr

a taxa de extração é

14 m3 / h

modelo

zdr - 1

poder

25 w.

faixa de medição de grau de vácuo

0,1-10 5 pa

silício de resistência

o que zj tinha que 52 t

suécia (inficon) pirani capacitância medidor de vácuo (opcional)

modelo

pcg554

tensão de entrada

24v 1a dc (equipado com transformador 220v)

interface de manômetro a vácuo

kf16

tela digital

display digital (tela tamanho 20x14mm), cuja unidade de exibição de dados é torr

tamanho do produto

46 mm x 28 mm x 126 mm (l x l x h)

o peso do

5 libras

detecção de gás

vários gases podem ser detectados, incluindo gases mistos, precisos e repetíveis.

se o anti-corrosão

proteção contra corrosão

o tempo de resposta

30 ms ou menos

faixa de medição

3,8 x10-5-1125 torr.

unidade de bomba molecular (opcional)

tensão de entrada da unidade

380 v / 220 v

tubo corrugado

kf40x1000

válvula de defletor de vácuo

kf40

tamanho do caso

600 x600x600

bomba molecular

modelo de bomba molecular

fj620

tensão de entrada

380 v

flange de entrada da bomba molecular

dn160

taxa de bombeamento da bomba molecular l / s (para o ar)

600

pressão limite da bomba molecular (pa)

6 x 10-7

sistema de refrigeração

refrigerado a água

pressão da água de resfriamento (mpa)

0,1 a 0,2

temperatura da água de refrigeração

& lt; 25 & lt; p = "" & gt;

a temperatura ambiente

0 ~ 40

pressão inicial sugerida

& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;

bomba de vácuo do motor rvp - 6

poder

0,75 kw

Voltagem

380 v

Rapidez

1450 rpm

diâmetro de entrada

kf25 / kf40

taxa de bombeamento da bomba (l / s)

6

pressão final

4 x 10-2 pa

bomba de vácuo alemã pfeiffer

Voltagem

220 v

poder

110 w.

interface de extração

kf40

o peso do

150 kg

velocidade da bomba da bomba dianteira

0,9 m 3 / h

taxa de extração (n2)

33 m / s

calibre de vácuo composto

modelo de calibre de vácuo composto

zdf

a fonte de energia

220 v 55 w

precisão de controle

mais ou menos 1%

faixa de medição de vácuo

10-5-10 5 pa

PECVD furnace

1 nós fornecemos máquinas com suporte de tecnologia de bateria.

2 Nós fornecemos conjunto completo de equipamento de bateria de lítio para pesquisa em laboratório, pesquisa em escala piloto e lin de produção e.



1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte de danos para você de graça.


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