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Forno tubular giratório com bico de pecável de 1200c (60 mm od)

  • Model Number:

    TMAX-DSP-1200PECVD-X
  • Delivery Time:

    12 days
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DESCRIPTION

Forno tubular giratório com bico de pecável de 1200c (60 mm od)



tmax-dsp-1200pecvd-xz s é um sistema de forno de tubo de 1200 ° c pe-cvd de três zonas composto por uma fonte de plasma de 500 w rf, forno tubular com um medidor de fluxo de massa de precisão integrado com tanque de mistura de gás e uma bomba de vácuo sem óleo de alta qualidade. tal forno pe-cvd é uma nova ferramenta para o crescimento de nanofios ou grafeno ou revestimento sic.

especificações:

poder

3,5 kw

tamanho do tubo

dia 60 (od) x 1200 mm

dimensões do produto (mm)

1300x420x1200

velocidade de rotação do tubo

0 - 25 rpm variável

ângulo de inclinação do forno

-10 a 30 °

características

1 duas temp. de precisão programável. controladores com 30 segmentos.

2 duas zonas de aquecimento controladas separadamente:

    • 200mm de comprimento para cada zona de aquecimento
    • 400mm total no comprimento de aquecimento
    • Área de aquecimento central de temperatura constante de 250 mm se ambas as zonas foram aquecidas à mesma temperatura

estruturas de fornos

1 forno tubular dividido com trilho deslizante

2 max 1150ºc para aquecimento contínuo

3 Controladores de temperatura digital de precisão multiprogramáveis ​​com 30 segmentos.

4 Potência de entrada: entrada de 208 a 240 V CA, monofásica em máx. 4kw

fonte de alimentação de plasma rf

1 Potência de saída: 5 -500W ajustável com estabilidade de ± 1%.

2 frequência de rf: 13,56 mhz ± 0,005% de estabilidade.

3 Potência de reflexão: 10w max.

4 correspondência: automático

5 porta de saída rf: 50 Ω, tipo n, fêmea

6 ruído: & lt; 30 db.

7 arrefecimento: arrefecimento a ar.

8 potência: 208-240vac, monofásico, 50 / 60hz

medidor de pressão anti-corrosivo

1 3,8x10 -5 a faixa de medição de 1125 torr

2 anti-corrosivo, independente do tipo de gás

3 alta precisão e reprodutibilidade na atmosfera para detecção confiável da pressão atmosférica

4 detecção atmosférica rápida elimina o tempo de espera e encurta o ciclo do processo

5 fácil de trocar plug & amp; tocar o elemento sensor

estação de bomba de vácuo e válvulas

1 A bomba de vácuo seca sem óleo de alta velocidade (120l / min) da pfeiffer, o limite de 10e-3 torr é instalado dentro do carrinho móvel de serviço pesado

2 o adaptador kf25 e o tubo de aço inoxidável são conectados entre a flange da bomba e do tubo com a válvula de esfera para o plug and play do cliente

3 Vácuo 10e-2 torr pode ser alcançado dentro do tubo de processamento

fluxômetros de massa & amp; estação de mistura de gás

Ele é instalado em um carrinho móvel resistente, onde o forno tubular pode ser colocado no topo. tela sensível ao toque lcd é integrada para fornecer controle fácil na taxa de fluxo de gás de cada canal independente.

1 temperatura de trabalho: 5 ~ 45 ºc

2 max. pressão: 3x10 6 pa

3 precisão: ± 1,5% fs

4 revestimento: ± (0,5-1,5)% f.s.

5 precisão duplicada: ± 0,2% f.s.

6 faixa de controle: 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm ou 1,2,3,5,10slm.

aquecimento & amp; taxas de resfriamento

    • rs485 porta e software estão instalados e permitem controle remoto perfil de temperatura por pc.
    • para atingir a taxa de aquecimento máxima, o usuário deve pré-aquecer o forno até a temperatura desejada, depois deslizar o forno para a zona de amostra do tubo
    • a fim de alcançar o max. taxa de resfriamento, mova o forno aquecido da zona quente para a zona fria

taxa de aquecimento:

15 ° c / seg (rt - 150 ° c);

10 ° c / seg (150 ° C - 250 ° C);

7 ° c / s (250 ° C - 350 ° C);

4 ° c / seg (350 ° c - 500 ° c);

3 ° c / s (350 ° C - 550 ° C);

2 ° c / seg (550 ° c - 650 ° c);
1 ° c / seg (650 ° c - 800 ° c);
0,5 ° c / seg (800 ° c - 1000 ° c);

taxa de refrigeração:

15 ° c / s (1000 - 950 ° c);

10 ° c / seg. (950 ° C - 900 ° C);

7 ° c / s (900 ° C - 850 ° C);

4 ° c / s (850 ° C - 750 ° C);

2 ° c / s (750 ° c - 600 ° c);
1,5 ° C / seg (600 ° C - 500 ° C);
1 ° c / s (500 ° c - 400 ° c);
0,5 ° C / seg (400 ° C - 300 ° C);

garantia

dois anos de garantia limitada com suporte vitalício.

Notas de aplicação

fornos tubulares com tubos de quartzo são projetados para uso sob vácuo e baixa pressão & lt; 0,12 mpa (pressão absoluta).
atenção: um regulador de pressão de dois estágios deve ser instalado no cilindro de gás para limitar a pressão abaixo de 3 psi para operação segura.
a taxa de fluxo para gases deve ser limitada a & lt; 200 sccm (ou 200 ml / min) para reduzir os choques térmicos no tubo.
definição do limite de vácuo para todos os fornos de tubo de quartzo: * as pressões de vácuo só podem ser usadas com segurança até 1000 ° c.
Para operar sistema pecvd com tubo de tamanho maior que 4 ", mantenha sempre a uma distância de mais de 1 metro da fonte de plasma depois que o gerador de plasma começar a funcionar.


PECVD Tube Furnace

1 nós fornecemos máquinas com suporte de tecnologia de bateria.

2 Nós fornecemos conjunto completo de equipamento de bateria de lítio para pesquisa em laboratório, pesquisa em escala piloto e lin de produção e.



1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte de danos para você de graça.


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