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Forno para pecart vertical de 1200 ° c com gerador de rf, mistura de gás e sistema de bombeamento

  • Model Number:

    TMAX-VerticalPECVD
  • Delivery Time:

    12 days
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DESCRIPTION

Fornalha de pecável vertical 1200 ° c com gerador de rf, mistura de gás & amp; sistema de bombeamento


tmax-1200-pecvd deposição química a vapor em série (cvd) e deposição de vapor químico com plasma melhorado (pecvd) fornos com tubo dividido em várias zonas apresentam o famoso kanthal & reg; (suécia) elementos de aquecimento de arame embutidos em alta qualidade mitsubishi & reg; (japão) isolamento de fibra de alumina. todo o invólucro de camada dupla em aço garante durabilidade e ajuda a minimizar a perda de calor na superfície externa.


a operação do forno é controlada por shimaden & reg; (japão) Controlador digital de 40 segmentos com porta de comunicação digital rs485 integrada e adaptador usb, permitindo que o usuário conecte a um PC para controle remoto e monitoramento do forno. Você também pode salvar ou exportar os resultados do teste.
Todos os nossos fornos são complacentes.

características

· design compacto, portátil e leve.

· temperaturas de processamento mais baixas são necessárias em comparação com as cvds convencionais.

· O stress do filme pode ser controlado por técnicas de mistura de alta / baixa frequência.

· câmara de forno bipartida para acesso rápido e fácil ao tubo.

· pacote padrão inclui conjunto de flanges de vedação a vácuo de aço inoxidável com válvulas e medidor de pressão.

· O controle pid de autoajuste baseado em microprocessador fornece um ótimo processo térmico com um mínimo de overshoot.

· processos de atmosfera múltipla em um único ciclo são possíveis (ex: o aglutinante queima no ar e a sinterização de peças sob vácuo bruto ou ambiente de gás inerte).

· medidor de amp integrado e voltímetros duplos para fácil monitoramento e solução de problemas.

· interface de computador incorporada.

· termopar tipo k de longa vida.

· Opção de forno deslizante oferece taxas de resfriamento ultrarrápidas


forno, bomba de vácuo e especificações do sistema de mistura de gás

material do tubo

quartzo

elemento de aquecimento

kanthal & reg; (suécia) fio de bobina de resistência

max. vs constantes temperaturas de trabalho

1200 ° c max. e 1100 ° c constante

tipo de casal thermo

k

revestimento refratário

mitsubishi & reg; alumina da fibra da categoria de (japão) 1500

controlador de temperatura

shimaden & reg; (japão) fp93 com 4 programas e 40 segmentos
(ou seja, 4 x 10 segmentos ou 2 x 20 segmentos)

aquecimento máximo & amp; taxa de refrigeração

& lt; 30 ° c / min

precisão do controlador de temperatura

+/- 1 ° c (+/- 1,8 ° f)

kit de flange de vedação a vácuo

flanges de vedação a vácuo de aço inoxidável com um medidor de vácuo,
duas válvulas e quatro blocos cerâmicos térmicos.

requisitos elétricos

220vac, 3.5kw, monofásico

especificações do gerador de rf

requisitos elétricos

208-240 volts 50/60 hz

potência de saída

5 a 500 watts, ajustável em +/- 1% passo

frequência de rf

13,56 mhz com estabilidade de +/- 0,005%

poder de reflexão

10 watts max.

Coincidindo

automático

porta de saída rf

50 Ω, tipo n, feminino

resfriamento

ar

Descrição parcial

quantidade

imagem da peça

fornalha tubular

1 conjunto

sistema de abastecimento de gás multicanal

1 conjunto

fonte de alimentação de plasma RF (opcional)

1 conjunto

bomba de vácuo e invólucro (opcional)

1 conjunto

tubo de quartzo

1 pc

tubo de teflon (n representam o número de tubos)

n * 5

flanges de vedação a vácuo de aço inoxidável com medidor de pressão

1 conjunto

gancho de aço inoxidável

1 pc

bloco térmico cerâmico de alumina

2 pares

luvas térmicas

1 par

alta temperatura al 2 o 3 cadinho de alumina

5 peças

fusível de reposição

2 peças

kit de interface de computador usb / rs485

1 conjunto

forno e manual do controlador shimaden

2 peças


PECVD furnace

1 nós fornecemos máquinas com suporte de tecnologia de bateria.

2 Nós fornecemos conjunto completo de equipamento de bateria de lítio para pesquisa em laboratório, pesquisa em escala piloto e lin de produção e.



1 pacote exportado padrão: proteção anticollision interna, embalagem externa da caixa de madeira da exportação

2 transporte por expresso, por via aérea, por mar de acordo com os requisitos dos clientes para encontrar a maneira mais adequada.

3 responsável pelos danos durante o processo de envio, irá alterar a parte de danos para você de graça.


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